美國恩科優N&Q系列光刻機8006
美國恩科優N&Q系列光刻機4008
荷蘭 真空快速退火爐 AS-One100/150
美國 Micromanipulator探針臺 P200L/4060/PM450
美國蝕刻和剝離系統 CESx124
美國 紫外臭氧清洗機UVO系列 T10x10/OES
美國FALD原子層沉積系統 AT-600
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M-HP 200 Hotplate 加熱板
美國Laurell濕法刻蝕顯影機 EDC-650Mz-8NPP
Harrick等離子清洗機PDC-002
Harrick基本型等離子清洗機PDC-32G-2
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