日本Microphase 原子層沉積系統
日本Microphase 原位薄膜應力測量儀
日本Microphase 表面等離子體共振分析儀SPR
日本Microphas磁控濺射系統
日本Microphase 薄膜熱應力測試系統Thermal Scan
日本Microphase 光譜響應測試系統/IPCE測試系統/QE量子效測量系統
日本Microphase 電子束蒸發系統 EBES
NTE-4000 (M) 熱蒸發系統
NPE-3500 PECVD等離子體化學氣相沉積系統
美國FALD原子層沉積系統 AT-600
電子束蒸發鍍膜機 (E-beam Evaporator)
徠卡 EM ACE600 高真空鍍膜機
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