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日本Microphas磁控濺射系統  

  • 全球專業的沉積設備制造商,為各個領域的客戶提供完善的薄膜沉積解決方案:電子束蒸發系統、熱蒸發系統、超高真空蒸發系統、分子束外延MBE、有機分子束沉積OMBD、等離子增強化學氣相淀積系統PECVD/ICP Etcher、電子回旋共振等離子體增強化學氣相沉積、離子泵等。

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日本Microphas磁控濺射系統  (圖1)


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