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  • 安智AZ  熱穩定高分辨率負性光刻膠薄膠 nLOF 5510
安智AZ  熱穩定高分辨率負性光刻膠薄膠 nLOF 5510

安智AZ 熱穩定高分辨率負性光刻膠薄膠 nLOF 5510

  • AZ?nLOF 5110是一種薄的高分辨率負型光刻膠,具有很高的熱穩定性。該光刻膠用于單層剝離工藝以及RIE蝕刻或離子注入,并且與基于TMAH的顯影劑兼容。使用標準的曝光、烘烤、顯影等工藝流程可得到理想的圖案,該光刻膠反應速率非常快,在> 200C的溫度時仍具有熱穩定性。

產品詳情

安智AZ  熱穩定高分辨率負性光刻膠薄膠 nLOF 5510(圖1)


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