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安智AZ 正性光刻膠厚膠 40XT

安智AZ 正性光刻膠厚膠 40XT

AZ?40 XT的應用始于15-30 μm，在這個厚度范圍時，由于N2脫氣和再水化延遲時間，使用常規(guī)正性光刻膠的光刻工藝變得非常耗時，而AZ?40 XT可以避免這個問題。即使對于非常大的光刻膠膜厚度，AZ?40 XT也只需要很短的軟烘烤時間，不會有再水化延遲，由于其化學放大作用，曝光劑量非常小，顯影速度快。因此，與傳統(tǒng)的厚型光刻膠相比，AZ?40 XT的加工速度要快得多。

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安智AZ 正性光刻膠厚膠 40XT(圖1)

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