高溫超納米壓痕測試儀 (UNHT3 HTV)
全球第一臺真正意義的商品化的高溫高真空超納米壓痕儀，主要測量小載荷下納米尺度機械性能的測試系統，溫度在 800 °C 以下的薄膜和涂層的硬度和彈性模量。專利 UNHT3 技術與獨特的加熱功能結合，可提供在任何溫度下的高穩定性測量解決方案。
主要特點 新一代的高溫納米壓痕測試儀
環境條件下最低熱漂移 (< 0.5 nm/min) 和整個溫度范圍內最低熱漂移 (< 3 nm/min)。
最高載荷框架剛度 (>>106 N/m) 和最低框架柔度 (<<0.1 nm/mN)：兩套獨立的位移和載荷傳感器與高精度電容傳感器結合，可選擇“控制位移”和“載荷控制”模式。
高真空系統具有 5 軸磁懸浮渦輪泵和緩沖系統，允許在測量期間關閉初級泵，使振動降至最低。
獨特的加熱控制系統（3 項專利待批），采用3 個紅外 (IR) 加熱器分別用于給壓痕針尖、參比針尖和樣品進行加熱，以及 4 個熱電偶用于將樣品表面溫度控制到 變化在0.1°C 內。
符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 國際標準
技術指標
| 載荷 | |
|---|---|
| 最大載荷 | 100 mN |
| 載荷分辨率 | 6 nN |
| 本底噪音 | 0.5 [rms] [μN]* |
| 位移 | |
| 最大位移 | 100 μm |
| 位移分辨率 | 0.006 nm |
| 本底噪音 | 0.15 [rms] [nm]* |
| 極限真空度 | 10? mBar |
| 最高溫度 | 800 °C |