日立馳名的冷場發射電子源和300 kV加速電壓技術共同打造了超高分辨率成像和高靈敏度分析功能。雙棱鏡全息技術，空間分辨電子能量損失譜以及高精度平行納米電子束衍射技術開辟了高效，高精度樣品分析的新途徑。
分辨率：0.1 nm（晶體點陣）0.19 nm（點對點）0.13 nm（信息極限）
放大倍數：200倍 至 1,500,000倍
加速電壓：300 kV, 200 kV （*）, 100 kV （*）
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