準(zhǔn)分子激光器：CLS 5000
準(zhǔn)分子激光器是傳統(tǒng)的氣體激光器，由于波長(zhǎng)短（紫外），短脈沖寬度，高脈沖能量，是激光器家族不可替代的品種！應(yīng)用上，準(zhǔn)分子激光器在脈沖沉積鍍膜（PLD），光纖光柵刻寫，LASIK，光刻，微納加工等方面占主導(dǎo)的地位。
CLS
5000技術(shù)參數(shù):
激光介質(zhì) | ArF | KrF | XeCl |
波長(zhǎng) (nm) | 193 | 248 | 308 |
最大脈沖能量 (mJ) | 15 | 25 | 12 |
最大重復(fù)頻率 (Hz) | 500 | ||
最大平均功率 (W) | 7.5 | 12.5 | 6 |
脈沖能量穩(wěn)定度(sigma, %) | < 2 | ||
光斑尺寸 (VхH, mm) | 12 х 3.5 | 12 х 4 | 12 х 4 |
光束發(fā)散角(FWHM, mrad, VхH) | 2 х 1 | ||
脈沖持續(xù)時(shí)間 (FWHM, ns) | 10 – 12 | ||
冷卻方式 | 水冷 | ||
重量 (kg) | 85 | ||
尺寸 (LхWхH, mm) | 890 х 340 х 460 | ||
電源 | 220 V, 50-60 Hz, < 1000 VA | ||
可選功能和附件：
可能配置1000和2000赫茲
CLS 5000主要特點(diǎn)：
非常高的光束指向穩(wěn)定性
高重復(fù)頻率
能量穩(wěn)定性好
設(shè)計(jì)緊湊
內(nèi)置能量控制
帶磁轉(zhuǎn)換發(fā)生器
應(yīng)用：
布拉格光柵
無掩膜光刻
準(zhǔn)分子材料加工
激光視力矯正
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